Al/N共掺杂TiO2薄膜的制备及光学性能
作者:
作者单位:

(辽宁师范大学 物理与电子技术学院, 辽宁 大连 116029)

作者简介:

王泽文(1998-),男,硕士研究生,主要研究方向为半导体氧化物薄膜;

通讯作者:

中图分类号:

TB383.2;TQ134.1+1

基金项目:

辽宁省教育厅面上项目(LJKMZ20221429).通信作者:王玉新E-mail:yuxinwang178@sina.com


Preparation and Optical Properties of Aluminum and Nitrogen Co-doped TiO2 Thin Film
Author:
Affiliation:

(School of Physics and Electronic Technology, Liaoning Normal University, Dalian 116029, CHN)

Fund Project:

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    摘要:

    采用溶胶-凝胶旋涂法(Sol-Gel Spin-Coating Method)制备了Al掺杂量为3.00at%,N掺杂量分别为6.00at%,7.00at%,8.00at%和9.00at%的Al/N共掺杂TiO2薄膜样品。对样品测试的结果表明,共掺杂样品依旧保留了TiO2的基本结构,并且Al/N共掺杂样品的晶粒尺寸有不同程度的减小,使样品表面得以修饰,变得更加均匀、平整。共掺杂样品吸收边都出现了不同程度的红移,在紫外光区以及可见光区的吸光性都有所增强。N掺杂量为7.00at%时,(101)衍射峰值最大,峰型最尖锐,所得到的TiO2薄膜的光学性能最好。共掺杂后的样品与本征TiO2相比带隙值都有所减小,且最小值为2.873eV。以上结果表明Al/N共掺杂TiO2薄膜使其光学性能得到了改善。

    Abstract:

    In this study, based on the sol-gel spin coating method, aluminum and nitrogen co-doped TiO2 film samples were prepared with aluminum doping amount of 3.00at%, and nitrogen doping amount of 6.00at%, 7.00at%, 8.00at%, and 9.00at%, respectively. The test results of the samples show that the basic structure of TiO2 is still retained in the co-doped samples, and the grain size of aluminum and nitrogen co-doped samples is reduced to different degrees, which makes the surface of the samples modified to become more uniform and flat compared with that of the undoped. The co-doped samples showed different degrees of red shift and enhanced absorbance in both UV and visible regions. When the doping amount of nitrogen is 7.00at%, the diffraction peak of (101) is the largest, the peak type is the sharpiest, and the obtained TiO2 film has the best optical performance. Compared with the eigenstate TiO2, the band gap values of the co-doped samples are decreased, and the minimum value is 2.873eV. The above results indicate that Al/N co-doped TiO2 film can improve its optical properties.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

王泽文,赵莉,蔺冬雪,王玉新. Al/N共掺杂TiO2薄膜的制备及光学性能[J].半导体光电,2023,44(1):87-91. WANG Zewen, ZHAO Li, LIN Dongxue, WANG Yuxin. Preparation and Optical Properties of Aluminum and Nitrogen Co-doped TiO2 Thin Film[J].,2023,44(1):87-91.

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  • 收稿日期:2022-10-14
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