金刚石复合热沉面发射激光器面阵热特性研究
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长春理工大学

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Thermal study of vertical‑cavity surface‑emitting laser based on diamond heat sink
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Changchun University of Science and Technology

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    摘要:

    通过设计基于金刚石热沉的微槽结构,利用不同材料间的热导率差异,以优化垂直腔面发射半导体激光器面阵由于非均匀热流分布导致温度不均匀的问题,从而改善激光器面阵由于中心热量过于集中而导致的可靠性降低的结果,进而优化激光器面阵的输出功率。基于有限元分析法建立三维热电耦合模型,研究了垂直腔面发射激光器面阵单元排布对激光器单元热串扰效应的影响,同时还研究分析了金刚石复合热沉中微槽形状和位置的变化对半导体激光器内部温度的影响,来对激光器的出光性能做进一步优化。采用金刚石复合热沉后的垂直腔面发射激光器面阵,与传统金刚石热沉的封装结构相比,激光器发光单元的温度差值降低了29%。

    Abstract:

    Through designing composite heat sink of vertical cavity surface emitting laser based on diamond Micro groove structure, using different materials thermal conductivity to optimize the problem of vertical-cavity surface-emitting laser array non-uniform heat flux distribution leading to non-uniform temperature improved the reliability of laser array due to the center heat concentration and optimized the output power of the laser array. Building 3-D thermoelectric coupling model which is based on finite element analysis method studied the vertical cavity surface emitting laser array element configuration influence on the laser unit thermal crosstalk effects. And studying and analyzing the diamond composite heat sink in the pore shape and location of the change on the influence of the internal temperature of the semiconductor laser optimized the laser light. Compared with the traditional packaging structure of diamond heat sink, the vertical cavity surface emitting laser array is improved by using diamond composite heat sink., the temperature difference of laser element is reduced by 29%.

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  • 收稿日期:2023-01-09
  • 最后修改日期:2023-01-09
  • 录用日期:2023-02-08
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