位置敏感探测器光斑脱靶误差补偿方法研究
DOI:
作者:
作者单位:

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TN247??

基金项目:

基础技术科研项目(J0067-1922-FJC)


Study on Compensation Method of Light Spot Off-target Error of Position Sensitive Detector
Author:
Affiliation:

Fund Project:

Basic technology research projects

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    为了提高位置敏感探测器(PSD)的位置检测范围,解决光斑在探测器光敏面脱靶时无法准确定位光斑的问题,提出一种光斑脱靶误差补偿方法,分析了脱靶前后PSD检测光斑能量重心变化规律,建立了PSD光强信号与位置检测误差间函数关系。实验结果表明:当PSD光敏面尺寸为12mm×12mm时,对于半径为5mm的高斯光斑,通过本文中提出的光斑补偿方案补偿后PSD的X轴检测范围提高了66.7%,位置检测平均相对误差不超过5%,该方法对提高PSD位置检测性能具有重要的意义。

    Abstract:

    In order to extend the detection range of position sensitive detector, solve the problem that the light spot cannot be accurately positioned when the light spot is off-target on the PSD photosensitive surface, a light spot off-target error compensation method is proposed. The variation law of the spot energy center of PSD detection before and after the off-target was analyzed, and the functional relationship between the PSD light intensity signal and the position detection error was established. The experimental results show that: when the size of the PSD photosensitive surface is 12mm×12mm, the Gaussian light spot with a radius of 5mm is used, and the X-axis detection range of the PSD photosensitive surface is increased by 66.7% after compensation by the spot compensation method proposed in this paper, and the average relative error of position detection is no more than 5%.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2022-07-19
  • 最后修改日期:2022-07-19
  • 录用日期:2022-08-15
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:

漂浮通知

①《半导体光电》新近入编《中文核心期刊要目总览》2023年版(即第10版),这是本刊自1992年以来连续第10次被《中文核心期刊要目总览》收录。
②目前,《半导体光电》已入编四个最新版高质量科技期刊分级目录,它们分别是中国电子学会《电子技术、通信技术领域高质量科技期刊分级目录》(T3)、中国图象图形学学会《图像图形领域高质量科技期刊分级目录》(T3)、中国电工技术学会《电气工程领域高质量科技期刊分级目录》(T3)和中国照明学会《照明领域高质量科技期刊分级目录》(T2)。
③关于用户登录弱密码必须强制调整的说明
④《半导体光电》微信公众号“半导体光电期刊”已开通,欢迎关注