ZnSnO/AgNW双层透明电极的制备及性能研究
作者:
作者单位:

(1. 天津职业技术师范大学 汽车与交通学院, 天津 300222;2. 天津大学 微电子学院, 天津 300072)

作者简介:

石和平(1985-),男,博士,讲师,主要研究方向为半导体薄膜;

通讯作者:

中图分类号:

TN304.9

基金项目:

天津市教委科研计划项目(2021KJ016);国家自然科学基金项目(52175525).*通信作者:于仕辉 E-mail:ysh728@126.com


Investigation on Preparation and Performance of ZnSnO/AgNW Bi-layer Transparent Electrodes
Author:
Affiliation:

(1. School of Automation and Electrical Engineering, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, CHN;2. Department of Electrical Engineering and Automation, Luoyang Institute of Science and Technology, Luoyang 471023, CHN;3. School of Microelectronics, Tianjin University, Tianjin 300072, CHN)

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    摘要:

    利用旋涂银纳米线和磁控溅射ZnSnO薄膜相结合的方法,实现了高性能ZnSnO/AgNW双层透明电极的制备。采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对电极的结构和形貌进行了表征分析,利用紫外可见分光光度计和四探针测试仪分别对ZnSnO/AgNW双层透明电极的电学和光学性能进行了表征。结果表明,制备的ZnSnO/AgNW双层透明电极具有优异的电学和光学性能,在透过率为88.1%时,其方阻为12.3Ω/□,品质因子高达231。在5.0mm的曲率半径下,对ZnSnO/AgNW双层透明电极进行了1000次弯曲测试,其电阻仅增加了13%,表明ZnSnO/AgNW双层透明电极具有优异的柔性性能。此外,ZnSnO/AgNW双层透明电极经过20次胶带粘附测试和高温高湿测试后,方阻都基本保持不变,这说明ZnSnO/AgNW双层透明电极具有优异的粘附性以及抗氧化性。

    Abstract:

    High-performance ZnSnO/AgNW bi-layer transparent electrode was prepared by the processes of spin coating and magnetron sputtering. The morphology and phase structure of ZnSnO/AgNW bi-layer electrode were characterized and analyzed by X-ray diffractometer and scanning electron microscope, and the electrical and optical properties of ZnSnO/AgNW bi-layer transparent electrode were characterized by UV-visible spectrophotometer and four-probe tester, respectively. The experimental results show that the ZnSnO/AgNW bi-layer transparent electrode displays excellent electrical and optical properties. Under the optimal conditions, the square resistance is 12.3Ω/□ at transmittance of 88.1%, while the quality factor is as high as 231. The ZnSnO/AgNW bi-layer transparent electrode is tested for 1000 bends at a curvature radius of 5.0mm, and its resistance increased by only 13%, demonstrating its excellent flexibility. In addition, the square resistance remained basically unchanged after 20 tape adhesion tests and high temperature and humidity tests, indicating its excellent adhesion and oxidation resistance.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

石和平,张丽珠,于仕辉. ZnSnO/AgNW双层透明电极的制备及性能研究[J].半导体光电,2022,43(4):797-801. SHI Heping, ZHANG Lizhu, YU Shihui. Investigation on Preparation and Performance of ZnSnO/AgNW Bi-layer Transparent Electrodes[J].,2022,43(4):797-801.

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  • 收稿日期:2022-03-17
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